Вакуумное масло Ulvac Super R-7500

Марка

Super R-7500

Давление паров ¹,

Па

< 7 x 10-1

Цвет ²

Прозрачный

коричневый

Кинематическая вязкость ³

мм2/с при 40^оС

68

Индекс вязкости ⁵

115

Абсолютная влажность ⁶

%

< 0.01

Кислотное число ⁷ (mgKOH/g)

< 0.1

Плотность ⁸

г/см3 при 15^оС

0.91

Температура возгорания ^{9 о}С

220

Предел текучести ¹⁰

^оС

-20

Общее описание

свойств

Масло со специальными добавками, для связывания и фильтрации пыли в продуктах откачки

Применяемость по типу насосов

Насосы с масляным уплотнением для откачки на процессах химического осаждения из паровой фазы LPCVD

Развесовка в канистре, л

4.0