Ulvac G-Tran SP1 Датчик давления Пирани

В датчике SP1-1 преобразователи Пирани серии WP объединены в одном корпусе с платой управления. Функциональные возможности датчика SP-1 позволяют интегрировать измеритель в систему управления технологическими процессами, для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым датчики Пирани G-Tran SP1 могут помогут снизить издержки при реализации системы измерения вакуума.

Датчики Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10^-3 мм рт.ст. и 3 до 4х10^-3 мбара соответственно).

Датчики линейки G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов как:

•          Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
•          Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин

Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SP1:

•          Возможность применения преобразователя в системах управления без использования специальных контроллеров или индикаторов
•          Сенсор может быть легко заменен при необходимости
•          Доступны преобразователи с четырьмя различными типами подключения к процессу
•          Платиновый катод обеспечивает высокую коррозионную стойкость и надежность при прорывах атмосферы
•          Напряжение питания 24 В ПТ
•          Верификация состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых LEDиндикаторов на корпусе датчика
•          Компактные размеры и небольшой вес
•          Нелинейный выходной сигнал 0-5 В
•          Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня)