Ulvac SW, SP, SPU Датчики давления Пирани

Просмотренные товары

Ulvac G-Tran SP1 Датчик давления Пирани

Новый товар

Датчики Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10-3 мм рт.ст. и 3 до 4х10-3 мбара соответственно).

Подробнее

Описание

В датчике SP1-1 преобразователи Пирани серии WP объединены в одном корпусе с платой управления. Функциональные возможности датчика SP-1 позволяют интегрировать измеритель в систему управления технологическими процессами, для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым датчики Пирани G-Tran SP1 могут помогут снизить издержки при реализации системы измерения вакуума.

Датчики Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10-3 мм рт.ст. и 3 до 4х10-3 мбара соответственно).

Датчики линейки G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов как:

  •          Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  •          Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин

Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SP1:

  •          Возможность применения преобразователя в системах управления без использования специальных контроллеров или индикаторов
  •          Сенсор может быть легко заменен при необходимости
  •          Доступны преобразователи с четырьмя различными типами подключения к процессу
  •          Платиновый катод обеспечивает высокую коррозионную стойкость и надежность при прорывах атмосферы
  •          Напряжение питания 24 В ПТ
  •          Верификация состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых LEDиндикаторов на корпусе датчика
  •          Компактные размеры и небольшой вес
  •          Нелинейный выходной сигнал 0-5 В
  •          Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня)

Диапазон измерения

4,0x10-1 – 3,0х10+3 Пa; 3,0x10-3 – 22 мм рт. ст. 4,0x10-3 – 3 мбара

Точность измерения*1

±15% в диапазоне:

5,1–760 Пa; (3,75x10-1 – 5,7 мм рт. ст.; 5,1х10-1 – 7,6 мбар)

±30% в диапазоне:

10 – 1000 Пa; (7,5x10-2  – 7,5 мм рт. ст.;0,1 – 10 мбар)

±50% в диапазоне:

0,4 – 3000 Пa; (3x10-3 – 22 мм рт. ст.; 4х10-3 – 3 мбар)

Тип выходного сигнала

нелинейный 0-5 В

Скважность измерения

5 раз каждые 50 миллисекунд

Период обновления данных измерения

каждые 50 миллисекунд

Разрешающая способность

1 милливольт

Дискретные входные сигналы

  •        ОШИБКА
  •        Уставка сигнала по уровню 1-2
  •        Вход с открытым коллектором
  •        Ивертированная логика

Индикаторы на корпусе

  •        ПИТАНИЕ
  •        ОШИБКА
  •        Уставка сигнала по уровню 1-2

Материал катода

Pt

Диапазон рабочих температур

От 10 до 40 гр.Ц.

Диапазон рабочих условий влажности

От 15 до 80 % (без выпадения конденсата)

Напряжение питания

24 В ПТ ± 2 В, 90 mAмах

Тип коннектора

D-sub15ти-пиновый

Масса

159 гр (датчик)

Скачать