Ulvac SH, ST, SPU Широкодиапазонные датчики давления
Просмотренные товары
-
Ulvac G-Tran SH2-1 и...
Точность ±15% в диапазоне;Диапазон...
Ulvac G-Tran SH2-1 и SH2-2 Мульти ионизационный датчик давления с холодным катодом
Новый товар
Точность
±15% в диапазоне;
Диапазон измерений
5,0x10-8 – 10+1 Пa;
(3,75x10-10 – 7,6х10-2 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 0,1 мбар)
Описание
Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационный датчик с двумя катодами Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 c управлением с обратной связью основными параметрами измерения. Компания ULVAC разработала, запатентовала данную линейку датчиков под названием – мульти-ионизационный датчик (Multi Ionization Gauge – patent pending).
Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически.
Особенностью данной линейки датчиков давления является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования
Датчики линейки Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 находят свое применение для таких технологических процессов как:
- Производство фотоэлектронных элементов
- Производство ЖК-панелей
- Производство полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
- Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
- Измерение давления в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума
Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SH2-1/SH2-2:
- Возможность измерения в широком диапазоне: от атмосферного давления до глубокого вакуума:
- Мульти-ионизационный датчик (запатентован) переключается между измерительными головками, в зависимости от диапазона измерений.
- Точное измерение атмосферного давления, при эксплуатации совместно с деформационным датчиком давления блоком SAU
- Снижение издержек при эксплуатации. При выходе из строя какого-либо измерительного блока потребуется заменить только сломавшийся модуль.
- Проверка состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых светодиодных индикаторов на корпусе датчика
- Простая процедура замены датчика
- Выходной сигнал от датчика измерения 0-10 В – как линейный так, и логарифмический
- Возможность программирования дискретных уставок (3 уровня) для модели SH2-1
- Возможность коммуникации по протоколу обмена данных RS232C/RS485 для модели SH2-2
- СЕ маркировка изделия о соответствии основным требованиям директив ЕС и гармонизированным стандартам Европейского Союза
При заказе мульти-ионизационного датчика, в зависимости от желаемого диапазона измерения, предусмотрены варианты поставки используя комбинации из одного, двух или трех измерительных блоков, включая датчик Пирани SPU, и деформационного датчика SAU.
Технические характеристики Ulvac G-TRAN SH2-1 и SH2-2 (Ионизационный датчик давления с холодным катодом)
| SH2-1 | SH2-2 | ||
Порт подключения | NW16 – код заказа M34 NW25 – код заказа M35 UFC070 – код заказ M36 | |||
Скважность измерения | 4 раза каждые 70 миллисекунды | |||
Тип выходного сигнала | Линейный 0-10 В или логарифмический 0,75 В на декаду, где формула пересчета V= 7.25+0.75*(logP-2) | |||
Период обновления данных измерения | каждые 50 миллисекунд | |||
Дискретные входные сигналы |
| - | ||
Дискретные выходные сигналы |
| - | ||
Протокол передачи данных | - | RS232C/RS485 | ||
Светосигнальная индикация на корпусе датчика |
| |||
Ток эмиссии | 1 мА в диапазоне давлений ниже 1х10-3 Па; 1 µА | |||
Дегазация | Бомбардировка электронами 1 мА-350V | |||
Максимальное давление перегрузки | 2 атма (2х105 Па, 1,5х103 мм рт. ст., 2х103 мбара) *-ограничено максимальным допустимым давлением фланцевого соединения с накидным хомутом | |||
Внутренний объем датчика | 34 см3 | |||
Диапазон рабочих температур | От 10 до 50 гр.Ц. | |||
Диапазон рабочих условий влажности | От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) | |||
Условия хранения | От -20 до +65 гр. Ц, без выпадения конденсата, без подачи напряжения | |||
Показатель защиты оболочки | IP30 | |||
Напряжение питания | 20-28 В ПТ (пульсации на выходе менее 1%) 19 Вт (без учета потребления датчика) | |||
Тип коннектора | D-sub 15ти-пиновый | |||
Используемые материалы, контактирующие с откачиваемыми газами | Ионизационный датчик SH2-1/SH2-2:
Датчик Пирани SPU:
Деформационный датчик SAU:
| |||
Совместимые контролеры | Все контролеры серии Ulvac G-TRAN ISG1/IM1R1/IM2R1 | |||
Длина кабеля | Между датчиками – 0,5 м, 1 м, 2 м. Между датчиком и контроллером – 2 м, 5 м, 10 м, 15 м. | |||
Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2 | ±15% в диапазоне: 5,0x10-8 – 10+1 Пa; (3,75x10-10 – 7,6х10-2 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 0,1 мбар) | |||
Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2+SPU | ±15% в диапазоне: 5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар) ±30% в диапазоне: 1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.;10 – 30 мбар) Индикативно: 3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар) | |||
Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2+SPU+SAU | ±15% в диапазоне: 5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар) ±30% в диапазоне: 1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.; 10 – 30 мбар) Индикативно: 3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар) 3% от шкалы: 1,0х10+4 – 1,0х10+5 Пa; (75 – 760 мм рт. ст.; 100 – 1013 мбар) | |||
Точность повторения | ±2% в диапазоне: 1х10-6 – 1х10-1 Па; (7,6x10-9 – 7,6х10-4 мм рт. ст.; 1x10-8 – 1х10-3 мбар) | |||
Вес | 530 гр (вес измерительной головки без электроники 63 гр) | |||