Ulvac SH, ST, SPU Широкодиапазонные датчики давления

Просмотренные товары

Ulvac G-Tran SH2-1 и SH2-2 Мульти ионизационный датчик давления с холодным катодом

Новый товар

Точность

±15% в диапазоне;

Диапазон измерений

5,0x10-8 – 10+1 Пa;

(3,75x10-10 – 7,6х10-2 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 0,1 мбар)

Подробнее

113 000,00 руб

Описание

Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационный датчик с двумя катодами Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 c управлением с обратной связью основными параметрами измерения. Компания ULVAC разработала, запатентовала данную линейку датчиков под названием – мульти-ионизационный датчик (Multi Ionization Gauge – patent pending).

Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически.

Особенностью данной линейки датчиков давления является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования

Датчики линейки Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 находят свое применение для таких технологических процессов как:

  • Производство фотоэлектронных элементов
  • Производство ЖК-панелей
  • Производство полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
  • Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
  • Измерение давления в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума

Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SH2-1/SH2-2:

  • Возможность измерения в широком диапазоне: от атмосферного давления до глубокого вакуума:
  • Мульти-ионизационный датчик (запатентован) переключается между измерительными головками, в зависимости от диапазона измерений.
  • Точное измерение атмосферного давления, при эксплуатации совместно с деформационным датчиком давления блоком SAU
  • Снижение издержек при эксплуатации. При выходе из строя какого-либо измерительного блока потребуется заменить только сломавшийся модуль.
  • Проверка состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых светодиодных индикаторов на корпусе датчика
  • Простая процедура замены датчика
  • Выходной сигнал от датчика измерения 0-10 В – как линейный так, и логарифмический
  • Возможность программирования дискретных уставок (3 уровня) для модели SH2-1
  • Возможность коммуникации по протоколу обмена данных RS232C/RS485 для модели SH2-2
  • СЕ маркировка изделия о соответствии основным требованиям директив ЕС и гармонизированным стандартам Европейского Союза

При заказе мульти-ионизационного датчика, в зависимости от желаемого диапазона измерения, предусмотрены варианты поставки используя комбинации из одного, двух или трех измерительных блоков, включая датчик Пирани SPU, и деформационного датчика SAU.

Технические характеристики Ulvac G-TRAN SH2-1 и SH2-2 (Ионизационный датчик давления с холодным катодом)

 

SH2-1

SH2-2

Порт подключения

NW16 – код заказа M34

NW25 – код заказа M35

UFC070 – код заказ M36

Скважность измерения

4 раза каждые 70 миллисекунды

Тип выходного сигнала

Линейный 0-10 В или логарифмический 0,75 В на декаду,

где формула пересчета V= 7.25+0.75*(logP-2)

Период обновления данных измерения

каждые 50 миллисекунд

Дискретные входные сигналы

  •        Катод ВКЛ/ВЫКЛ
  •        Катод 1/Kатод 2
  •        Дегазация ВКЛ/ВЫКЛ
  •        Вход с открытым коллектором
  •        Инвертированная логика

-

Дискретные выходные сигналы

  •        Ошибка сигнала
  •        Уставка сигнала по уровню
  •        Эмиссия тока в порядке
  •        Проверка напряжения катода
  •        Максимальное напряжение
  •        Максимальный ток
  •        Плавающее напряжение

-

Протокол передачи данных

-

RS232C/RS485

Светосигнальная индикация на корпусе датчика

  •        ПИТАНИЕ
  •        ОШИБКА
  •        ЭМИССИЯ
  •        Уровень 1- 2- 3
  •        ПИТАНИЕ
  •        ОШИБКА
  •        ЭМИССИЯ

Ток эмиссии

1 мА в диапазоне давлений ниже 1х10-3 Па; 1 µА

Дегазация

Бомбардировка электронами 1 мА-350V

Максимальное давление перегрузки

2 атма (2х105 Па, 1,5х103 мм рт. ст., 2х103 мбара)

*-ограничено максимальным допустимым давлением фланцевого соединения с накидным хомутом

Внутренний объем датчика

34 см3

Диапазон рабочих температур

От 10 до 50 гр.Ц.

Диапазон рабочих условий влажности

От 15 до 80 % (без выпадения конденсата)

Условия хранения

От -20 до +65 гр. Ц, без выпадения конденсата, без подачи напряжения

Показатель защиты оболочки

IP30

Напряжение питания

20-28 В ПТ (пульсации на выходе менее 1%)

19 Вт (без учета потребления датчика)

Тип коннектора

D-sub 15ти-пиновый

Используемые материалы, контактирующие с откачиваемыми газами

Ионизационный датчик SH2-1/SH2-2:

  •        Катод 1 – Yr/Y2O3
  •        Катод 2 – W
  •        Остальные внутренние элементы – PtC, M, SUS, W

Датчик Пирани SPU:

  •        Катод – Pt
  •        Остальные внутренние элементы – немагнитные стали, Ni

Деформационный датчик SAU:

  •        SUS316L

Совместимые контролеры

Все контролеры серии Ulvac G-TRAN ISG1/IM1R1/IM2R1

Длина кабеля

Между датчиками – 0,5 м, 1 м, 2 м.

Между датчиком и контроллером – 2 м, 5 м, 10 м, 15 м.

Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2

±15% в диапазоне:

5,0x10-8 – 10+1 Пa; (3,75x10-10 – 7,6х10-2 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 0,1 мбар)

Точность и диапазон измерения

SH2-1/SH2-2+SPU

±15% в диапазоне:

5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар)

±30% в диапазоне:

1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.;10 – 30 мбар)

Индикативно:

3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар)

Точность и диапазон измерения

SH2-1/SH2-2+SPU+SAU

±15% в диапазоне:

5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар)

±30% в диапазоне:

1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.; 10 – 30 мбар)

Индикативно:

3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар)

3% от шкалы:

1,0х10+4 – 1,0х10+5 Пa; (75 – 760 мм рт. ст.; 100 – 1013 мбар)

Точность повторения

±2% в диапазоне:

1х10-6 – 1х10-1 Па; (7,6x10-9 – 7,6х10-4 мм рт. ст.; 1x10-8 – 1х10-3 мбар)

Вес

530 гр (вес измерительной головки без электроники 63 гр)

Скачать