Ulvac SH, ST, SPU Широкодиапазонные датчики давления

Просмотренные товары

Ulvac G-TRAN ST Мульти ионизационный вакуумметр

Новый товар

Диапазон измерений

1,0x10-5 – 10+1 Пa;

Точность:

±10% в диапазоне:

1,0x10-4 – 3 Па (7.5x10-7 –2,2х10-2 мм рт. ст.; 1,0х10-6 – 3х10-2 мбар)

±15% в диапазоне:

3 – 10+1 Пa (2,2х10-2 –7,5х10-2 мм рт. ст.; 3х10-2 – 0,1мбар)

Подробнее

156 000,00 руб

Описание

Датчики Ulvac G-TRAN ST2-1 ST2-2  - Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационные датчики с триодной конструкции с горячим катодом были специально разработаны для промышленных применений, таких как процессы термической обработки на вакуумных печах, используемых в составе откачных станций диффузионные вакуумные насосы.

Большинство пользователей ионизационных датчиков как с горячим катодом, так и с холодным катодом со временем сталкиваются с проблемами в точности и повторяемости измерений.

Датчики с горячим катодом традиционной конструкции имеют коллектор ионов, расположенный по центру датчика в виде тонкого электрода малой площади.

В процессе эксплуатации вакуумной печи с масляными насосами, происходит естественное загрязнение коллекторного узла парами масла и продуктов сгорания углеводородов. Вследствие чего, эффективная площадь коллектора уменьшается, что негативно сказывается на точности и качестве измерения давления.

При эксплуатации ионизационного датчика с холодным катодом, электроды датчика в результате горения разряда становятся покрытыми карбидами от паров масла, содержащихся в обратном, откачиваемому потоку газов.

Также, при продолжительной эксплуатации в области предельных для датчика высоких давлений (около 1 Па), происходит распыление материалов конструкции, в результате чего электроды покрываются тонкой металлической пленкой. 

Данные загрязнения электродов, могут послужит причиной ухудшения измерений и выходу датчика из строя.

Датчики серии ULVAC G-Tran ST2, имеют триодную конструкцию с катодом накала по центру, сетчатым электродом и коллектором ионов в виде цилиндра по периметру датчика. В технике, данная триодная конструкция, хорошо известна при производстве электровакуумных приборов (ламп). Датчики серии ULVAC G-Tran ST2 изготовлены в полностью металлическом корпусе, что делает их крайне удобным в применении, благодаря высокоточному изготовлению и применению оригинальной конструкции катода накала.

Благодаря тому, что площадь коллектора ионов в датчики ST2 в десятки тысяч раз больше, точность и повторяемость результатов измерения, а также срок службы датчиков ST2, многократно превосходит аналогичные параметры датчиками с горячим катодом традиционной конструкции. 

В силу расположения электродов эмиттера и сетки, при работе давлений ниже 10-5 Па, возникает слабое рентгеновское излучение, что делает процесс измерения неточным при использовании данной конструкции. Однако, высокая стабильность и точность измерения в диапазоне давление до 10-5 Па, делает датчики ULVAC G-Tran ST2 оптимальным вариантом для применения в составе высоковакуумных откачных систем с диффузионным насосом, таких как вакуумные печи.

Особенностью данной линейки датчиков давления, как и предудущих моделей в семействе (Multi Ionization Gauge – patent pending) является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования.

Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN ST2-1 ST2-2  :

  •          Возможность измерения в широком диапазоне: от атмосферного давления до глубокого вакуума:
  •          Мульти-ионизационный датчик (запатентован) переключается между измерительными головками, в зависимости от диапазона измерений.
  •          Точное измерение атмосферного давления, при эксплуатации совместно с деформационным датчиком давления блоком SAU
  •          Снижение издержек при эксплуатации. При выходе из строя какого-либо измерительного блока потребуется заменить только сломавшийся модуль.
  •          Проверка состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых светодиодных индикаторов на корпусе датчика
  •          Простая процедура замены датчика
  •          Выходной сигнал от датчика измерения 0-10 В – как линейный так, и логарифмический
  •          Возможность программирования дискретных уставок (3 уровня) для модели ST2-1
  •          Возможность коммуникации по протоколу обмена данных RS232C/RS485 для модели ST2-2
  •          СЕ маркировка изделия о соответствии основным требованиям директив ЕС и гармонизированным стандартам Европейского Союза

При заказе мульти-ионизационного датчика, в зависимости от желаемого диапазона измерения, предусмотрены варианты поставки используя комбинации из одного, двух или трех измерительных блоков, включая датчик Пирани SPU, и деформационного датчика SAU.

Технические характеристики Ulvac G-TRAN ST (Ионизационный датчик давления)

 

ST2-1

ST2-2

Порт подключения

NW16

Скважность измерения

5 раза каждые 50 миллисекунды

Тип выходного сигнала

Линейный 0-10 В или логарифмический 0,75 В на декаду,

где формула пересчета V= 7.25+0.75*(logP-2)

 

Период обновления данных измерения

каждые 50 миллисекунд

Дискретные входные сигналы

  •        Катод ВКЛ/ВЫКЛ
  •        Катод 1/Kатод 2
  •        Дегазация ВКЛ/ВЫКЛ
  •        Вход с открытым коллектором
  •        Инвертированная логика

-

Дискретные выходные сигналы

  •        Ошибка сигнала
  •        Уставка сигнала по уровню
  •        Эмиссия тока в порядке
  •        Проверка напряжения катода
  •        Максимальное напряжение
  •        Максимальный ток
  •        Плавающее напряжение

-

Протокол передачи данных

-

RS232C/RS485

Светосигнальная индикация на корпусе датчика

  •        ПИТАНИЕ
  •        ОШИБКА
  •        ЭМИССИЯ
  •        Уровень 1- 2- 3

 

Ток эмиссии

2 мА в диапазоне давлений ниже 1х10-2 Па; 10 µА

Дегазация

Бомбардировка электронами 2 мА-330V

Максимальное давление перегрузки

2 атм. (2х105 Па, 1,5х103 мм рт. ст., 2х103 мбара)

*-ограничено максимальным допустимым давлением фланцевого соединения с накидным хомутом

Внутренний объем датчика

17 см3

Диапазон рабочих температур

От 10 до 50 гр.Ц.

Диапазон рабочих условий влажности

От 15 до 80 % (без выпадения конденсата)

Условия хранения

От -20 до +65 гр. Ц, без выпадения конденсата, без подачи напряжения

Показатель защиты оболочки

IP30

Напряжение питания

20-28 В ПТ (пульсации на выходе менее 1%)

19 Вт (без учета потребления датчика)

Тип коннектора

D-sub 15ти-пиновый

Используемые материалы, контактирующие с откачиваемыми газами

Ионизационный датчик ST2-1/ST2-2:

  •        Катод 1 – Ir/Y2O3 cPtC-Mo покрытием
  •        Катод 2 – W
  •        Остальные внутренние элементы – PtC, M, SUS304, W

Датчик Пирани SPU:

  •        Катод – Pt
  •        Остальные внутренние элементы – немагнитные стали, Ni

Деформационный датчик SAU:

  •        SUS316L

Совместимые контролеры

Все контролеры серии Ulvac G-TRANISG1/IM1R1/IM2R1

Длина кабеля

Между датчиками – 0,5 м, 1 м, 2 м.

Между датчиком и контроллером – 2 м, 5 м, 10 м, 15 м.

Точность и диапазон измерения ST2-1/ST2-2

1,0x10-5 – 10+1 Пa;

 

±10% в диапазоне:

1,0x10-4 – 3 Па (7.5x10-7 –2,2х10-2 мм рт. ст.; 1,0х10-6 – 3х10-2 мбар)

±15% в диапазоне:

3 – 10+1 Пa (2,2х10-2 –7,5х10-2 мм рт. ст.; 3х10-2 – 0,1мбар)

 

Точность и диапазон измерения

ST2-1/ST2-2+SPU

1,0x10-5 – 10+4 Пa;

 

±10% в диапазоне:

1,0x10-4 – 3 Па (7.5x10-7 –2,2х10-2 мм рт. ст.; 1,0х10-6 – 3х10-2 мбар)

±15% в диапазоне:

3 – 10+1 Пa (2,2х10-2 –7,5х10-2 мм рт. ст.; 3х10-2 – 0,1мбар)

±30% в диапазоне:

1.0х10+3–3,0х10+3Па (7,5 – 22,5;10 – 30 мбар)

Точность и диапазон измерения

ST2-1/ST2-2+SPU+SAU

1,0x10-5 – 10+5 Пa;

 

±10% в диапазоне:

1,0x10-4 – 3 Па (7.5x10-7 –2,2х10-2 мм рт. ст.; 1,0х10-6 – 3х10-2 мбар)

±15% в диапазоне:

3 – 10+1 Пa (2,2х10-2 –7,5х10-2 мм рт. ст.; 3х10-2 – 0,1мбар)

±30% в диапазоне:

1.0х10+3–3,0х10+3Па (7,5 – 22,5;10 – 30 мбар)

Индикативно: ±3% шкалы

1.0х10+41.0х10+5Па (75-760 мм рт. ст ;100 – 1013 мбар)

Точность повторения

±2% в диапазоне:

1х10-6 – 1х10-1 Па; (7,6x10-9 – 7,6х10-4 мм рт. ст.; 1x10-8 – 1х10-3 мбар)

Вес

530 гр (вес измерительной головки без электроники 80 гр)

Скачать