Теги
Просмотренные товары
Быстрота откачки: 653 м3/час, 10883...
Насосы серии LR, HR и UR являются оптимальным оборудованием для применения в таких процессах, как производство полупроводников, процессы травления и молекулярной эпитаксии, газовых процессов с образованием порошковых продуктов, например, печи для роста кремниевых кристаллов.
Серия сухих безмасляных насосов LR, HR и UR производства компании ULVAC разработана для создания форвакуума в тяжелых условиях эксплуатации и для использования в качестве форвакуумных для турбомолекулярных и бустерных механических насосов. Уникальными особенностями насосов данной серии являются конструктивные решения деталей камеры сжатия, обеспечивающие высокую эффективность отвода тепла от тела насоса и равномерное распределения высокой температуры деталей вдоль всего механизма сжатия.
Данный тип насоса является механически безмасляным насосом в промышленном исполнении. Насос является гибридным насосом Рутса. Вдоль пути сжатия газа последовательно располагаются четыре ступени трехлопастных насосов и ступень Рутса, обеспечивающее требуемое понижение давление и высокую компрессию. Схематично данный насос можно представить в виде пяти последовательно соединенных мини-вакуумных насосов, собранных в одном корпусе.
Насос отличает высокая теплоотдача с корпуса насоса, позволяющая эксплуатировать его в нагруженных режимах без перегрева. Насос не требует водяного охлаждения и отличается высокой способностью к откачке паров воды.
Всю линейку насосов отличает превосходная коррозионная стойкость, высокая производительность при откачке гелия и инертных газов, и исполнение с двигателем в герметичном кожухе, что позволяет использовать насосы в опасных производствах.
Внутренние поверхности деталей насоса обработаны специальным образом для придания высокой твердости поверхности и коррозионной стойкости. Это делает насосы незаменимыми при эксплуатации в среде коррозионных газов.
На корпусе насоса размещена панель управления с индикацией основных предупреждение и аварийных сообщений. Также предусмотрена возможность подключения промышленных интерфейсов последовательной передачи данных с возможностью удаленного мониторинга и управления насосами).
Модель | UR600 | LR/HR1200 | UR1200 | LR1800 | UR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | UR3601-TT | ||
Тип насоса | Форвакуумная ступень | UR90 | LR/HR90 | UR90 | LR180 | UR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | LR421-T | |
Ступень Рутса | PRC-006A | PRC-012A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036C-R | PRC-036C-R (-TR) | PRC-036C | ||
Быстрота откачки | м3/час | 653 | 1012 | 1012 | 1701 | 1701 | 3200 | 3200 | 3200 | 3200 | 2700 | |
л/мин | 10883 | 16900 | 16867 | 28350 | 28350 | 53333 | 53333 | 53333 | 53333 | 45000 | ||
Предельное давление | Па | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | |
Торр | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | ||
Максимальное давление на входе | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | ||
Рабочий диапазон | Па | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | |
Торр | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | ||
Порт откачки | VG80(NW40) | VG100(NW100) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | VG150 | VG150 | VG150 | VG150 | ||
Порт выхлопа | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
Защитное покрытие роторов форступени/ступени Рутса | есть/есть | есть/есть | есть/есть | есть/есть | есть/есть | есть/нет | есть/нет(есть) | есть/нет | есть/нет(есть) | есть/есть | ||
Масса | кг | 371 | 403 | 403 | 553 | 553 | 660 | 720 | 660 | 720 | 720 | |
Электропитание | Три фазы | В (Гц) | 220 | 220 | 220 | 220 | 220 | 220/380 | 220/380 | 220/380 | 220/380 | 220/380 |
Ток | При максимальном давлении | А | 16.4 | 13,7 | 18,9 | 21,4 | 29,2 | 31,0 | 31,0 | 35,4 | 35,4 | 39,8 |
При максимальной нагрузке | А | 17.3 | 24,2 | 22,4 | 39,8 | 34,9 | 58,4 | 58,4 | 82,0 | 82,0 | 68,3 | |
Водяное охлаждение | Рабочее давление | МПа | 0,1-0,3 | 0,1-0,3 | 0,1-0,3 | 0,1-0,3 | 0,1-0,3 | 0,2-0,5 | 0,2-0,5 | 0,2-0,5 | 0,2-0,5 | 0,2-0,5 |
Разница давлений на входе и выходе | МПа | ˃0,1 | ˃0,1 | ˃0,1 | ˃0,1 | ˃0,1 | ˃0,2 | ˃0,2 | ˃0,2 | ˃0,2 | ˃0,2 | |
Поток | л/мин | ˃5,0 | ˃5,0 | ˃5,0 | ˃5,0 | ˃5,0 | ˃4,0 | ˃4,0 | ˃4,0 | ˃4,0 | ˃4,0 | |
Продувочный газ N2 | Рабочее давление | МПа | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 |
Регулируемое давление | МПа | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | |
Параметры продувки | Уплотнение вала | л/мин | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
газ. балласт | л/мин | 0-45 | 0-45 | 0-45 | 0-45 | 0-195 | НЕТ | 0-45 | НЕТ | 0-45 | 0-195 |