Промышленные Ulvac UR HR LR

Просмотренные товары

Ulvac UR421-T — безмасляный промышленный насос Рутса

Новый товар

Быстрота откачки: 410 м3/час, 6833 л/мин

Предельное давление: 5 Па, 3,7*10-2 мм рт. ст.

Подробнее

Описание

Ulvac LR, HR, UR — сухие безмасляные вакуумные насосы Рутса

Насосы серии LR, HR и UR являются оптимальным оборудованием для применения в таких процессах, как производство полупроводников, процессы травления и молекулярной эпитаксии, газовых процессов с образованием порошковых продуктов, например, печи для роста кремниевых кристаллов.

  • Серии LR разработана для работы на откачке шлюзовых и рабочих вакуумных камер при невысоких температурах на процессах осаждения из паровой фазы.
  • Серия HR разработана для применения в процессах травления и молекулярной эпитаксии на повышенных температурах. Специально для данной серии насосов компания ULVAC использует для изготовления деталей насосов особый алюминиевый сплав для чрезвычайно равномерного распределения температуры по всему телу насоса.
  • Серия UR разработана для процессов, требующих дополнительного нагрева насоса, газовых линий и/или откачки из нагретых линий отвода газа.

Серия сухих безмасляных насосов LR, HR и UR производства компании ULVAC разработана для создания форвакуума в тяжелых условиях эксплуатации и для использования в качестве форвакуумных для турбомолекулярных и бустерных механических насосов. Уникальными особенностями насосов данной серии являются конструктивные решения деталей камеры сжатия, обеспечивающие высокую эффективность отвода тепла от тела насоса и равномерное распределения высокой температуры деталей вдоль всего механизма сжатия.

Данный тип насоса является механически безмасляным насосом в промышленном исполнении. Насос является гибридным насосом Рутса. Вдоль пути сжатия газа последовательно располагаются четыре ступени трехлопастных насосов и ступень Рутса, обеспечивающее требуемое понижение давление и высокую компрессию. Схематично данный насос можно представить в виде пяти последовательно соединенных мини-вакуумных насосов, собранных в одном корпусе.

Насос отличает высокая теплоотдача с корпуса насоса, позволяющая эксплуатировать его в нагруженных режимах без перегрева. Насос не требует водяного охлаждения и отличается высокой способностью к откачке паров воды.

Всю линейку насосов отличает превосходная коррозионная стойкость, высокая производительность при откачке гелия и инертных газов, и исполнение с двигателем в герметичном кожухе, что позволяет использовать насосы в опасных производствах.

Внутренние поверхности деталей насоса обработаны специальным образом для придания высокой твердости поверхности и коррозионной стойкости. Это делает насосы незаменимыми при эксплуатации в среде коррозионных газов.

На корпусе насоса размещена панель управления с индикацией основных предупреждение и аварийных сообщений. Также предусмотрена возможность подключения промышленных интерфейсов последовательной передачи данных с возможностью удаленного мониторинга и управления насосами).

Технические характеристики насосов Ulvac LR, HR, UR

Модель

LR/HR60

LR/HR90

LR180

LR421

LR421-T

UR421-T

LR/HR300

LR/HR600

Тип насоса

Форвакуумная ступень

LR/HR60

LR/HR90

LR180

LR421

LR421-T

UR421-T

 

 

Ступень Рутса

-

-

-

-

-

-

PRC-003A

PRC-006A

Быстрота откачки

м3/час

62

112

183

440

440

410

359

653

л/мин

1030

1860

3100

7333

7333

6833

5980

10900

Предельное давление

Па

5

5

5

5

5

5

6.7*10-1

6.7*10-1

Торр

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

3,7*10-2

5.0*10-3

5.0*10-3

Максимальное давление на входе

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

Рабочий диапазон

Па

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

Торр

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

Порт откачки

VG50(NW40)

VG80(NW50)

VG80(NW50)

VG100

VG100

VG100

VG80(NW80)

VG80(NW80)

Порт выхлопа

NW40

NW40

NW40

VG50

VG50

VG50

NW40

NW40

Защитное покрытие роторов форступени/ступени рудса

есть/-

есть/-

есть/-

есть/-

есть/-

есть/-

есть/есть

есть/есть

Масса

кг

180

245

335

415

415

415

251

371

Электропитание

Три фазы

В (Гц)

220

220

220

220/380

220/380

220/380

220

220

Ток

При максимальном давлении

А

6,9

11,2

18,9

20,8

20,8

23,0

7,0

12,3

При максимальной нагрузке

А

7,0

11,8

20,6

48,5

48,5

52,5

9,6

19,0

Водяное охлаждение

Рабочее давление

МПа

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

0,1-0,3

0,1-0,3

Разница давлений на входе и выходе

МПа

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,2

˃0,2

˃0,2

˃0,1

˃0,1

Поток

л/мин

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

˃5,0

˃5,0

Продувочный газ N2

Рабочее давление

МПа

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

Регулируемое давление

МПа

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

Параметры продувки

Уплотнение вала

л/мин

5

5

5

5

5

5

5

5

газ. балласт

л/мин

0-45

0-45

0-45

нет

0-45

0-195

0-45

0-45

Скачать

Ulvac LR HR UR

Ulvac LR HR UR — безмасляный промышленный насос Рутса

Скачать (1.28M)