Масс-спектрометры
Просмотренные товары
-
Высокочувствительный...
Высокочувствительный квадрупольный...
Высокочувствительный масс-спектрометр Qulee HGM с откачным постом
Новый товар
Высокочувствительный квадрупольный масс-спектрометр Qulee HGM с откачным постом
Описание
Высокочувствительный квадрупольный масс-спектрометр Qulee HGM с откачным постом
Новый продукт японской компании ULVAC – высокочувствительный газоанализатор Qulee HGM.
HGM – это серия анализаторов остаточных газов с революционной простотой использования. Ulvac Qulee HGM обладает чувствительностью для всех моделей – 2,5×10-6 А/Па.
Qulee HGM позволяет проводить эффективный контроль содержания газов в ходе различных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ и других процессов в вакууме.
Квадрупольные масс-спектрометры Ulvac Qulee с функцией течеискания
Ulvac Qulee – это серия квадрупольных масс-спектрометров с функцией течеискания. Вы можете с помощью нажатия одной кнопки настроить прибор на гелий и затем провести обдув вашей вакуумной системы для локализации утечки.
Технические характеристики Qulee HGM
Наименование модели | HGM-202 | HGM-302 | ||
Вид масс-анализатора | Квадрупольный | |||
Диапазон анализируемых масс | 1–200 а.е.м. | 1–300 а.е.м. | ||
Разрешающая способность | M/∆M = 1 M (10% от высоты пика) | |||
Тип детектора | Коллектор Фарадея | Электрометрический усилитель | Коллектор Фарадея | Электрометрический усилитель |
Чувствительность | 2,5×10-6 А/Па | 4 А/Па | 2×10-6 А/Па | 4 А/Па |
3,3×10-4 А/Торр | 533 А/Торр | 3,3×10‑4 А/Торр | 533 А/Торр | |
2,5×10‑4 А/мбар | 400 А/мбар | 2,5×10‑4 А/мбар | 400 А/мбар | |
Минимально детектируемое парциальное давление | ~10-9 Па | ~10-13 Па | ~10-9 Па | ~10-13 Па |
~7,5×10‑12 Торр | ~7,5×10-16 Торр | ~7,5×10‑12 Торр | ~7,5×10-16 Торр | |
~1×10-11 мбар | ~1×10-12 мбар | ~1×10-11 мбар | ~1×10-12 мбар | |
Максимальное рабочее давление | 1×10-2 Па | |||
7,5×10-3 Торр | ||||
1×10-4 мбар | ||||
Нить накала | Ir/Y2O3, 2 шт. | |||
Напряжение ионизации | От 25 до70 эВ (по умолчанию 50 эВ) | |||
Ток эмиссии | 0,1 мА/0,5 мА/1,0 мА (по умолчанию 0,5 мА) | |||
Дегазация | Электронная бомбардировка, 330 В, 5мА | |||
Функция измерения общего давления | Присутствует | |||
Напряжение ЭМУ | От -1,0 до 3,0 кВ (шаг 1 В) | |||
Функция одного касания | Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы | |||
Функция проверки на герметичность одним касанием | Присутствует | |||
Питание | Постоянный ток, 24 В ± 10%, 50 Вт | |||
Масса (анализатор/ детектор) | 2,4 кг/0,81 кг | |||
Максимальная рабочая температура анализатора | 250 °С (482 °Ф) | |||
Максимальная температура обезгаживания (электроника удалена) | 300 °С (572 °Ф) | |||
Диапазон рабочих температур | От 10 до 40 °С (от 50 до 104 °Ф) | |||
Рабочий диапазон влажности | От 15 до 80% (не конденсат) | |||
IP рейтинг | IP30 (анализатор) | |||
Разъём питания | MSTBV2.5/3-GF-5.08 | |||
Последовательный интерфейс связи | RS232C/RS485 (опционально) | |||
Внешний разъём входа/выхода | D-sub на 15 разъёмов (винт M2.6) | |||
Разъём последовательного интерфейса | 6-и пиновый разъём (RJ-11) | |||
Внешний сигнал входа/выхода | Аналоговый вход (0–10 В) ×2, внешний вход защиты (защита от давления) ×1, выход ошибки ×1 (Нить накала, ЭМУ, ВМ), выход заданного значения парциального давления ×2 (ошибка, авария), выход заданного значения общего давления ×1 | |||
Программное обеспечение | Qulee QSC вер.3.0 и позже (совместимо с Windows 7/8) | |||
Стандартное вспомогательное оборудование | Кабель питания, кабель связи (длина 3м), ПО (установочный диск), инструкция по эксплуатации (со страницами для заметок) | |||
Опциональное оборудование | QIP (специальная программа для автоизмерений), кабель связи (длинной 5 м, 10 м, 15 м), адаптер питания постоянного тока, RS232C/485 переходник, RS485 ответвительный соединитель и соединительный провод, разъём входа/выхода, USB/RS232C микропереходник, обогревательный кожух, сумка для устройства, инструкция по эксплуатации с чистыми листами для заметок | |||
Сертификация | ЕС | |||
Применение Ulvac Qulee HGM с откачным постом
- Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии
- Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок
- Анализ остаточного газа в составе высоковакуумного насосного оборудования
- Анализ остаточного газа в сублимационной системе сушки
- Анализ различных газов для проведения научных исследований и разработок
Высоковакуумный откачной лабораторный пост безмасляный ULVAC YTP-070A
Отличительными особенностями ULVAC YTP-070A являются:
- безмасляный форвакуумный насос быстротой откачки 20 л/мин с улучшенными характеристиками (тип насоса: диафрагменный трехступенчатый)
- новейший высоковакуумный турбомолекулярный насос с рекордным коэффициентом компрессии (109 по азоту и 106 по гелию), благодаря чему модель откачного поста ULVAC YTP-070A обеспечивает лучшие показатели среди конкурентных моделей по предельному вакууму: 10-6 Па и высокую быстроту откачки 70 л/сек (по азоту) и 60 л/сек по гелию.
- интегрированный контроллер управления средствами откачки, позволяющий подключать к системе управления любые датчики вакуума серии ULVAC G-Tran, включая датчики Пирани, ионизационные и емкостные. Датчики могут выбраны пользователем и приобретены отдельно.
- интуитивно понятный интерфейс управления на базе сенсорной панели с индикацией выбранных параметров откачного поста.
- компактные размеры, легкий вес и практически бесшумная работа
- современный дизайн и удобный корпус
- возможность выбора трех типов входных фланцев: для болтовых соединений с резиновым уплотнением в канавке – тип VG65; для быстросъемных соединений с центрирующим кольцом – тип ISO63-K; с болтовым соединением для медных уплотнений – тип ICF114.
Благодаря современной организации производства модульных откачных постов YTP-070А значительно сокращен срок изготовления оборудования в Японии, что позволяет оперативно организовать доставку прибора пользователям в Российской Федерации.
Высоковакуумный откачной пост безмасляный ULVAC YTP-070A |
Тип фланца на входе |
JIS VG-65 ISO63-K ICF114 |
Параметры эл.сети и питания |
300 Вт 1ф.~100-240 В АС 50 Гц |
Габаритные размеры (Д х Ш х В), мм |
329 х 318 х 387 (JISVG65) 329 х 318 х 387 (ISO63-K) 329 х 318 х 408 (ICF114) |
Уровень шумового давления |
43 dB A |
Масса |
17 кг |
Быстрота откачки |
70 л/сек (N2) 60 л/сек (He) 49 л/сек (H2) |
Тип и производительность форвакуумного насоса |
«сухой» диафрагменный 20 л/мин |
Предельное остаточное давление |
10-6 Па 10-8 мбар 7,5 10-9 мм рт.ст |