Масс-спектрометры

Просмотренные товары

Высокочувствительный масс-спектрометр Qulee HGM с откачным постом

Новый товар

Высокочувствительный квадрупольный масс-спектрометр Qulee HGM с откачным постом

Подробнее

Описание

Высокочувствительный квадрупольный масс-спектрометр Qulee HGM с откачным постом

Новый продукт японской компании ULVAC – высокочувствительный газоанализатор Qulee HGM.

HGM – это серия анализаторов остаточных газов с революционной простотой использования. Ulvac Qulee HGM обладает чувствительностью для всех моделей – 2,5×10-6 А/Па.

Qulee HGM позволяет проводить эффективный контроль содержания газов в ходе различных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ и других процессов в вакууме.

Квадрупольные масс-спектрометры Ulvac Qulee с функцией течеискания

Ulvac Qulee – это серия квадрупольных масс-спектрометров с функцией течеискания. Вы можете с помощью нажатия одной кнопки настроить прибор на гелий и затем провести обдув вашей вакуумной системы для локализации утечки.

Технические характеристики Qulee HGM

Наименование модели

HGM-202

HGM-302

Вид масс-анализатора

Квадрупольный

Диапазон анализируемых масс

1–200 а.е.м.

1–300 а.е.м.

Разрешающая способность

M/∆M = 1 M (10% от высоты пика)

Тип детектора

Коллектор Фарадея

Электрометрический усилитель

Коллектор Фарадея

Электрометрический усилитель

Чувствительность

2,5×10-6 А/Па

4 А/Па

2×10-6 А/Па

4 А/Па

3,3×10-4 А/Торр

533 А/Торр

3,3×10‑4 А/Торр

533 А/Торр

2,5×10‑4 А/мбар

400 А/мбар

2,5×10‑4 А/мбар

400 А/мбар

Минимально детектируемое парциальное давление

~10-9 Па

~10-13 Па

~10-9 Па

~10-13 Па

~7,5×10‑12 Торр

~7,5×10-16 Торр

~7,5×10‑12 Торр

~7,5×10-16 Торр

~1×10-11 мбар

~1×10-12 мбар

~1×10-11 мбар

~1×10-12 мбар

Максимальное рабочее давление

1×10-2 Па

7,5×10-3 Торр

1×10-4 мбар

Нить накала

Ir/Y2O3, 2 шт.

Напряжение ионизации

От 25 до70 эВ (по умолчанию 50 эВ)

Ток эмиссии

0,1 мА/0,5 мА/1,0 мА (по умолчанию 0,5 мА)

Дегазация

Электронная бомбардировка, 330 В, 5мА

Функция измерения общего давления

Присутствует

Напряжение ЭМУ

От -1,0 до 3,0 кВ (шаг 1 В)

Функция одного касания

Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы

Функция проверки на герметичность одним касанием

Присутствует

Питание

Постоянный ток, 24 В ± 10%, 50 Вт

Масса (анализатор/

детектор)

2,4 кг/0,81 кг

Максимальная рабочая температура анализатора

250 °С (482 °Ф)

Максимальная температура обезгаживания (электроника удалена)

300 °С (572 °Ф)

Диапазон рабочих температур

От 10 до 40 °С (от 50 до 104 °Ф)

Рабочий диапазон влажности

От 15 до 80% (не конденсат)

IP рейтинг

IP30 (анализатор)

Разъём питания

MSTBV2.5/3-GF-5.08

Последовательный интерфейс связи

RS232C/RS485 (опционально)

Внешний разъём входа/выхода

D-sub на 15 разъёмов (винт M2.6)

Разъём последовательного интерфейса

6-и пиновый разъём (RJ-11)

Внешний сигнал входа/выхода

Аналоговый вход (0–10 В) ×2, внешний вход защиты (защита от давления) ×1, выход ошибки ×1 (Нить накала, ЭМУ, ВМ), выход заданного значения парциального давления ×2 (ошибка, авария), выход заданного значения общего давления ×1

Программное обеспечение

Qulee QSC вер.3.0 и позже (совместимо с Windows 7/8)

Стандартное вспомогательное оборудование

Кабель питания, кабель связи (длина 3м), ПО (установочный диск), инструкция по эксплуатации (со страницами для заметок)

Опциональное оборудование

QIP (специальная программа для автоизмерений), кабель связи (длинной 5 м, 10 м, 15 м), адаптер питания постоянного тока, RS232C/485 переходник, RS485 ответвительный соединитель и соединительный провод, разъём входа/выхода, USB/RS232C микропереходник, обогревательный кожух, сумка для устройства, инструкция по эксплуатации с чистыми листами для заметок

Сертификация

ЕС

 Применение Ulvac Qulee HGM с откачным постом

  • Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии
  • Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок
  • Анализ остаточного газа в составе высоковакуумного насосного оборудования
  • Анализ остаточного газа в сублимационной системе сушки
  • Анализ различных газов для проведения научных исследований и разработок

Высоковакуумный откачной лабораторный пост безмасляный ULVAC YTP-070A

Отличительными особенностями ULVAC YTP-070являются:

  • безмасляный форвакуумный насос быстротой откачки 20 л/мин с улучшенными характеристиками (тип насоса: диафрагменный трехступенчатый)
  • новейший высоковакуумный турбомолекулярный насос с рекордным коэффициентом компрессии (109 по азоту и 106 по гелию), благодаря чему модель откачного поста ULVAC YTP-070A обеспечивает лучшие показатели среди конкурентных моделей по предельному вакууму: 10-6 Па и высокую быстроту откачки 70 л/сек (по азоту) и 60 л/сек по гелию.
  • интегрированный контроллер управления средствами откачки, позволяющий подключать к системе управления любые датчики вакуума серии ULVAC G-Tran, включая датчики Пирани, ионизационные и емкостные. Датчики могут выбраны пользователем и приобретены отдельно.
  • интуитивно понятный интерфейс управления на базе сенсорной панели с индикацией выбранных параметров откачного поста.
  • компактные размеры, легкий вес и практически бесшумная работа
  • современный дизайн и удобный корпус
  • возможность выбора трех типов входных фланцев: для болтовых соединений с резиновым уплотнением в канавке – тип VG65; для быстросъемных соединений с центрирующим кольцом – тип ISO63-K; с болтовым соединением для медных уплотнений – тип ICF114.

Благодаря современной организации производства модульных откачных постов YTP-070А значительно сокращен срок изготовления оборудования в Японии, что позволяет оперативно организовать доставку прибора пользователям в Российской Федерации.

Высоковакуумный откачной пост безмасляный ULVAC YTP-070A

Тип фланца на входе

JIS VG-65

ISO63-K

ICF114

Параметры эл.сети и питания

300 Вт

1ф.~100-240 В АС 50 Гц

Габаритные размеры

(Д х Ш х В), мм

329 х 318 х 387 (JISVG65)

329 х 318 х 387 (ISO63-K)

329 х 318 х 408 (ICF114)

Уровень шумового давления

43 dB A

Масса

17 кг

Быстрота откачки

70 л/сек (N2)

60 л/сек (He)

49 л/сек (H2)

Тип и производительность форвакуумного насоса

«сухой» диафрагменный

20 л/мин

Предельное остаточное давление

10-6 Па

10-8 мбар

7,5 10-9 мм рт.ст