Теги
Просмотренные товары
Быстрота откачки: 183 м3/час, 3100...
Насосы серии LR, HR и UR являются оптимальным оборудованием для применения в таких процессах, как производство полупроводников, процессы травления и молекулярной эпитаксии, газовых процессов с образованием порошковых продуктов, например, печи для роста кремниевых кристаллов.
Серия сухих безмасляных насосов LR, HR и UR производства компании ULVAC разработана для создания форвакуума в тяжелых условиях эксплуатации и для использования в качестве форвакуумных для турбомолекулярных и бустерных механических насосов. Уникальными особенностями насосов данной серии являются конструктивные решения деталей камеры сжатия, обеспечивающие высокую эффективность отвода тепла от тела насоса и равномерное распределения высокой температуры деталей вдоль всего механизма сжатия.
Данный тип насоса является механически безмасляным насосом в промышленном исполнении. Насос является гибридным насосом Рутса. Вдоль пути сжатия газа последовательно располагаются четыре ступени трехлопастных насосов и ступень Рутса, обеспечивающее требуемое понижение давление и высокую компрессию. Схематично данный насос можно представить в виде пяти последовательно соединенных мини-вакуумных насосов, собранных в одном корпусе.
Насос отличает высокая теплоотдача с корпуса насоса, позволяющая эксплуатировать его в нагруженных режимах без перегрева. Насос не требует водяного охлаждения и отличается высокой способностью к откачке паров воды.
Всю линейку насосов отличает превосходная коррозионная стойкость, высокая производительность при откачке гелия и инертных газов, и исполнение с двигателем в герметичном кожухе, что позволяет использовать насосы в опасных производствах.
Внутренние поверхности деталей насоса обработаны специальным образом для придания высокой твердости поверхности и коррозионной стойкости. Это делает насосы незаменимыми при эксплуатации в среде коррозионных газов.
На корпусе насоса размещена панель управления с индикацией основных предупреждение и аварийных сообщений. Также предусмотрена возможность подключения промышленных интерфейсов последовательной передачи данных с возможностью удаленного мониторинга и управления насосами).
Модель | LR/HR60 | LR/HR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | UR421-T | LR/HR300 | LR/HR600 | ||
Тип насоса | Форвакуумная ступень | LR/HR60 | LR/HR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | UR421-T |
|
| |
Ступень Рутса | - | - | - | - | - | - | PRC-003A | PRC-006A | ||
Быстрота откачки | м3/час | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | |
л/мин | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | ||
Предельное давление | Па | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 6.7*10-1 | 6.7*10-1 | |
Торр | 3,7*10-2 | 3,7*10-2 | 3,7*10-2 | 3,7*10-2 | 3,7*10-2 | 3,7*10-2 | 5.0*10-3 | 5.0*10-3 | ||
Максимальное давление на входе | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | атм. | ||
Рабочий диапазон | Па | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | 1,0- атм. | |
Торр | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | 7,5*10-3- атм. | ||
Порт откачки | VG50(NW40) | VG80(NW50) | VG80(NW50) | VG100 | VG100 | VG100 | VG80(NW80) | VG80(NW80) | ||
Порт выхлопа | NW40 | NW40 | NW40 | VG50 | VG50 | VG50 | NW40 | NW40 | ||
Защитное покрытие роторов форступени/ступени рудса | есть/- | есть/- | есть/- | есть/- | есть/- | есть/- | есть/есть | есть/есть | ||
Масса | кг | 180 | 245 | 335 | 415 | 415 | 415 | 251 | 371 | |
Электропитание | Три фазы | В (Гц) | 220 | 220 | 220 | 220/380 | 220/380 | 220/380 | 220 | 220 |
Ток | При максимальном давлении | А | 6,9 | 11,2 | 18,9 | 20,8 | 20,8 | 23,0 | 7,0 | 12,3 |
При максимальной нагрузке | А | 7,0 | 11,8 | 20,6 | 48,5 | 48,5 | 52,5 | 9,6 | 19,0 | |
Водяное охлаждение | Рабочее давление | МПа | 0,1-0,3 | 0,1-0,3 | 0,1-0,3 | 0,2-0,5 | 0,2-0,5 | 0,2-0,5 | 0,1-0,3 | 0,1-0,3 |
Разница давлений на входе и выходе | МПа | ˃0,1 | ˃0,1 | ˃0,1 | ˃0,2 | ˃0,2 | ˃0,2 | ˃0,1 | ˃0,1 | |
Поток | л/мин | ˃5,0 | ˃5,0 | ˃5,0 | ˃4,0 | ˃4,0 | ˃4,0 | ˃5,0 | ˃5,0 | |
Продувочный газ N2 | Рабочее давление | МПа | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 | 0,1-0,5 |
Регулируемое давление | МПа | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | 0,05-0,1 | |
Параметры продувки | Уплотнение вала | л/мин | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
газ. балласт | л/мин | 0-45 | 0-45 | 0-45 | нет | 0-45 | 0-195 | 0-45 | 0-45 |