Промышленные Ulvac UR HR LR

Просмотренные товары

Ulvac LR3601-T (TT) — безмасляный промышленный насос Рутса

Новый товар

Быстрота откачки: 3200 м3/час, 53333 л/мин

Предельное давление: 0,67 Па, 5*10-3 мм рт. ст.

Подробнее

Описание

Ulvac LR, HR, UR — сухие безмасляные вакуумные насосы Рутса

Насосы серии LR, HR и UR являются оптимальным оборудованием для применения в таких процессах, как производство полупроводников, процессы травления и молекулярной эпитаксии, газовых процессов с образованием порошковых продуктов, например, печи для роста кремниевых кристаллов.

  • Серии LR разработана для работы на откачке шлюзовых и рабочих вакуумных камер при невысоких температурах на процессах осаждения из паровой фазы.
  • Серия HR разработана для применения в процессах травления и молекулярной эпитаксии на повышенных температурах. Специально для данной серии насосов компания ULVAC использует для изготовления деталей насосов особый алюминиевый сплав для чрезвычайно равномерного распределения температуры по всему телу насоса.
  • Серия UR разработана для процессов, требующих дополнительного нагрева насоса, газовых линий и/или откачки из нагретых линий отвода газа.

Серия сухих безмасляных насосов LR, HR и UR производства компании ULVAC разработана для создания форвакуума в тяжелых условиях эксплуатации и для использования в качестве форвакуумных для турбомолекулярных и бустерных механических насосов. Уникальными особенностями насосов данной серии являются конструктивные решения деталей камеры сжатия, обеспечивающие высокую эффективность отвода тепла от тела насоса и равномерное распределения высокой температуры деталей вдоль всего механизма сжатия.

Данный тип насоса является механически безмасляным насосом в промышленном исполнении. Насос является гибридным насосом Рутса. Вдоль пути сжатия газа последовательно располагаются четыре ступени трехлопастных насосов и ступень Рутса, обеспечивающее требуемое понижение давление и высокую компрессию. Схематично данный насос можно представить в виде пяти последовательно соединенных мини-вакуумных насосов, собранных в одном корпусе.

Насос отличает высокая теплоотдача с корпуса насоса, позволяющая эксплуатировать его в нагруженных режимах без перегрева. Насос не требует водяного охлаждения и отличается высокой способностью к откачке паров воды.

Всю линейку насосов отличает превосходная коррозионная стойкость, высокая производительность при откачке гелия и инертных газов, и исполнение с двигателем в герметичном кожухе, что позволяет использовать насосы в опасных производствах.

Внутренние поверхности деталей насоса обработаны специальным образом для придания высокой твердости поверхности и коррозионной стойкости. Это делает насосы незаменимыми при эксплуатации в среде коррозионных газов.

На корпусе насоса размещена панель управления с индикацией основных предупреждение и аварийных сообщений. Также предусмотрена возможность подключения промышленных интерфейсов последовательной передачи данных с возможностью удаленного мониторинга и управления насосами).

Технические характеристики насосов Ulvac LR, HR, UR

Модель

UR600

LR/HR1200

UR1200

LR1800

UR1800

LR3601

LR3601-T

(TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

UR3601-TT

Тип насоса

Форвакуумная ступень

UR90

LR/HR90

UR90

LR180

UR180

LR421

LR421-T

LR421

LR421-T

LR421-T

Ступень Рутса

PRC-006A

PRC-012A

PRC-012A

PRC-018A

PRC-018A

PRC-036C

PRC-036C

(-T)

PRC-036C-R

PRC-036C-R

(-TR)

PRC-036C

Быстрота откачки

м3/час

653

1012

1012

1701

1701

3200

3200

3200

3200

2700

л/мин

10883

16900

16867

28350

28350

53333

53333

53333

53333

45000

Предельное давление

Па

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

6.7*10-1

Торр

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

5.0*10-3

Максимальное давление на входе

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

атм.

Рабочий диапазон

Па

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

1,0- атм.

Торр

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

7,5*10-3- атм.

Порт откачки

VG80(NW40)

VG100(NW100)

VG100(NW100)

VG150(NW100)

VG150(NW100)

VG150

VG150

VG150

VG150

VG150

Порт выхлопа

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

Защитное покрытие роторов форступени/ступени Рутса

есть/есть

есть/есть

есть/есть

есть/есть

есть/есть

есть/нет

есть/нет(есть)

есть/нет

есть/нет(есть)

есть/есть

Масса

кг

371

403

403

553

553

660

720

660

720

720

Электропитание

Три фазы

В (Гц)

220

220

220

220

220

220/380

220/380

220/380

220/380

220/380

Ток

При максимальном давлении

А

16.4

13,7

18,9

21,4

29,2

31,0

31,0

35,4

35,4

39,8

При максимальной нагрузке

А

17.3

24,2

22,4

39,8

34,9

58,4

58,4

82,0

82,0

68,3

Водяное охлаждение

Рабочее давление

МПа

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,1-0,3

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

0,2-0,5

Разница давлений на входе и выходе

МПа

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,1

˃0,2

˃0,2

˃0,2

˃0,2

˃0,2

Поток

л/мин

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃5,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

˃4,0

Продувочный газ N2

Рабочее давление

МПа

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

0,1-0,5

Регулируемое давление

МПа

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

0,05-0,1

Параметры продувки

Уплотнение вала

л/мин

5

5

5

5

5

5

5

5

5

5

газ. балласт

л/мин

0-45

0-45

0-45

0-45

0-195

НЕТ

0-45

НЕТ

0-45

0-195

Скачать

Ulvac LR HR UR

Ulvac LR HR UR — безмасляный промышленный насос Рутса

Скачать (1.28M)