Квадрупольный масс-спектрометр с откачным постом BGM-101R

Квадрупольный масс-спектрометр с откачным постом BGM-101R

Базовый монитор технологического газа Qulee BGM-101 в комплекте: коммуникационный кабель 3 м, DC24V, фланец для установки, программное обеспечение, индикация в Па.

Квадрупольные масс-спектрометры Ulvac Qulee с функцией течеискания

Ulvac Qulee – это серия квадрупольных масс-спектрометров с функцией течеискания. Вы можете с помощью нажатия одной кнопки настроить прибор на гелий и затем провести обдув вашей вакуумной системы для локализации утечки.

Базовый масс-спектрометр Qulee BGM

Базовая модель квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee BGM – наиболее современный датчик для анализа остаточных газов. Анализатор имеет предельно простой интерфейс. Этот газовый анализатор хорошо подходит для систем управления вакуумными испарителями и вакуумных печей.

• Низкая стоимость относительно других систем для анализа остаточных газов
• Встроенный экран – для управления не нужен компьютер
• Простота включения и управления – принцип «Одного нажатия»
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функция дегазации электронной бомбардировкой
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• В комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды

Технические характеристики Qulee BGM

 Применение Ulvac Qulee BGM

• Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии

• Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок

Высоковакуумный откачной лабораторный пост безмасляный ULVAC YTP-070A

Отличительными особенностями ULVAC YTP-070A являются:

• безмасляный форвакуумный насос быстротой откачки 20 л/мин с улучшенными характеристиками (тип насоса: диафрагменный трехступенчатый)
• новейший высоковакуумный турбомолекулярный насос с рекордным коэффициентом компрессии (10⁹ по азоту и 10⁶ по гелию), благодаря чему модель откачного поста ULVAC YTP-070A обеспечивает лучшие показатели среди конкурентных моделей по предельному вакууму: 10-6 Па и высокую быстроту откачки 70 л/сек (по азоту) и 60 л/сек по гелию.
• интегрированный контроллер управления средствами откачки, позволяющий подключать к системе управления любые датчики вакуума серии ULVAC G-Tran, включая датчики Пирани, ионизационные и емкостные. Датчики могут выбраны пользователем и приобретены отдельно.
• интуитивно понятный интерфейс управления на базе сенсорной панели с индикацией выбранных параметров откачного поста.
• компактные размеры, легкий вес и практически бесшумная работа
• современный дизайн и удобный корпус
• возможность выбора трех типов входных фланцев: для болтовых соединений с резиновым уплотнением в канавке – тип VG65; для быстросъемных соединений с центрирующим кольцом – тип ISO63-K; с болтовым соединением для медных уплотнений – тип ICF114.

Благодаря современной организации производства модульных откачных постов YTP-070А значительно сокращен срок изготовления оборудования в Японии, что позволяет оперативно организовать доставку прибора пользователям в Российской Федерации.